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多晶硅，是單質硅的一種形態，熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅。多晶硅是生產單晶硅的直接原料，是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉換等半導體器件的電子信息基礎材料。為檢測多晶硅中的無機元素含量，選擇微波消解對其進行前處理，探索消解參數，該方法還有回收率高、空白低等特點，有利于后續對多種無機元素的快速準確測定。